公布日期:2020年05月10日

希望以短行程减轻冲击【小型、轻量化】

应使用小尺寸、冲击吸收性能高的缓冲器

液晶玻璃基板用XY轴滑台

将以往的缓冲器更换为可高能量吸收的高性能缓冲器,则可以减小尺寸,实现设备小型化。尺寸减小后,也可以更短的行程吸收冲击,从而扩大XY轴滑台的可动范围。


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