Nabeya Bi-tech

公布日期:2020年05月10日 更新日期:2024年10月07日

解决半导体生产设备的课题(预工序)

晶片洗净装置

洗净工序

想要防止零件腐蚀

在接触药品的装置内,必须选择适应该环境的耐药品性优异的螺丝。

特殊螺丝的要求特性:耐药品性


耐药品性

耐热性

非磁性

推荐产品

树脂螺丝

 

树脂螺丝

SUS316L螺丝

SNSL

哈氏合金*1螺丝

 

SNSH-C22 ,SNSH-C276 ,SSHH-C22

陶瓷螺丝

 

SCX-C ,SCX-H ,SCX-N

Vespel*2螺丝

 

SPD-C ,SPD-H ,SPDC-C ,SPDC-H

头部PFA涂层螺丝


 

SNHS-HTF

*1:哈氏合金是美国哈氏合金国际公司的注册商标。
*2:VESPEL 是美国杜邦公司的注册商标。


耐药品性螺丝的更详细信息请看这里▶

氧化扩散装置

热处理、氧化扩散工序

希望零件能耐高温、耐药品

在高温及使用各种气体的环境下,应选择耐热性、耐药品性优异的螺丝。

特殊螺丝的要求特性:耐热性 耐药品性


耐热性

耐药品性

推荐产品

镍铬合金*1螺丝

SNSI

哈氏合金*2螺丝

SNSH-C22 ,SNSH-C276 ,SSHH-C22

MAT21*3

 

SNSMT

*1:镍铬合金是SMC 国际超合金集团公司的注册商标。
*2:哈氏合金是美国哈氏合金国际公司的注册商标。
*3:MAT 及MAT21 是Proterial 公司的注册商标。

涂覆、显影设备

成膜工序

希望提高生产能力

在晶片上生成光刻胶膜时为实现高速旋转,应使用高刚性联轴器。

联轴器要求特性:高刚性


推荐产品

膜片型联轴器

XHW-C


想要防止零件腐蚀

在接触药品的装置内,必须选择适应该环境的耐药品性优异的螺丝。

特殊螺丝的要求特性:耐药品性


耐热性

耐药品性

推荐产品

镍铬合金*1螺丝

SNSI

*1:镍铬合金是SMC 国际超合金集团公司的注册商标。


半导体曝光装置

光刻工艺

希望提高装置精度

即使是连接部的小螺丝,也可通过抑制反射影响,提高曝光精度。

特殊螺丝的要求特性:防反射


防反射

耐药品性

防粘连・防烧结

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低温镀黑铬处理

SNSS-RY

不锈钢黑色螺丝

SNSS-BK


防反射螺丝的更详细信息请看这里▶


应使用提高装置刚性的零件,提高装置的响应性。

驱动零件的要求特性:高刚性


推荐产品

线性导轨用夹紧机构

MK


蚀刻装置

蚀刻工艺

希望零件能耐高温、耐药品

在高温及使用各种气体、溶液的环境下,应选择耐热性、耐药品性优异的螺丝。

特殊螺丝的要求特性:耐热性 耐药品性


耐热性

耐药品性

真空

非磁性

高强度

重量轻

防粘连・防烧结

推荐产品

陶瓷螺丝

         

SCX-C ,SCX-H ,SCX-N

盖帽、陶瓷螺丝

 


     

SCAP-CE

哈氏合金*1螺丝

         

SNSH-C22 ,SNSH-C276 ,SSHH-C22

SUS316L螺丝

 

     

SNSL

钛合金螺丝

 

 

 

SNSTG

表面硬化处理螺丝


       

SNSL-PN

*1:哈氏合金是美国哈氏合金国际公司的注册商标。


耐热性螺丝的详情请看这里▶

耐药品性螺丝的详情请看这里▶

希望防止马达破损

要防止从真空可变电容通电,必须使用绝缘性优异的零件。

联轴器要求特性:绝缘性


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真空可变电容器用联轴器

MSXP-C-W-SP


离子注入装置

离子敲入工序

希望提高真空度

排出螺纹孔中聚集的空气,可以更进一步提高真空度。

特殊螺丝的要求特性:真空


 真空

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通孔型螺丝

真空装置用螺丝


想要高温下不会粘连的螺丝

备有在1000℃以上的环境下可防止因热循环而产生粘连的螺丝。

特殊螺丝的要求特性:耐热性


耐热性

防粘连・防烧结

推荐产品

表面硬化处理螺丝

表面硬化处理螺丝


希望提高装置精度

连接零件也使用非磁性零件,防止离子因零件磁性而发生弯曲。

特殊螺丝的要求特性:非磁性


非磁性

耐药品性

高强度

重量轻

推荐产品

磷青铜螺丝


 
 

SNSP

钛合金螺丝

SNST


成膜装置、阴极溅镀装置

成膜工序

希望防止马达破损

要防止从真空可变电容通电,必须使用绝缘性优异的零件。

联轴器要求特性:绝缘性


 推荐产品

真空可变电容器用联轴器

MSXP-C-W-SP


希望零件能耐高温、耐药品

在高温及使用各种气体的环境下,应选择耐热性、耐药品性优异的螺丝。

特殊螺丝的要求特性:耐热性 耐药品性


耐热性

耐药品性

非磁性

高强度

重量轻

推荐产品

陶瓷螺丝

     

SCX-C ,SCX-H ,SCX-N

SUS316L螺丝

   

SNSL

钼螺丝

       

SNSM

哈氏合金*1螺丝

     

SNSH-C22 ,SNSH-C276 ,SSHH-C22

镍螺丝

     

SNSN

镍铬合金*2螺丝

     

SNSI

钛合金螺丝

 

SNST

*1:哈氏合金是美国哈氏合金国际公司的注册商标。
*2:镍铬合金是SMC 国际超合金集团公司的注册商标。


耐热性螺丝的详情请看这里▶

耐药品性螺丝的详情请看这里▶

希望提高真空度

排出螺纹孔中聚集的空气,可以更进一步提高真空度。

特殊螺丝的要求特性:真空


真空

推荐产品

通孔型螺丝

真空装置用螺丝


物理检查装置

检查评价工序

希望提高真空度

排出螺纹孔中聚集的空气,可以更进一步提高真空度。

特殊螺丝的要求特性:真空


 真空

 推荐产品

通孔型螺丝

真空装置用螺丝


希望提高检查精度

特殊螺丝的要求特性:非磁性


非磁性

耐热性

耐药品性

高强度

重量轻

推荐产品

树脂螺丝:PPS

   

SPS-C , SPS-F  ,SPS-H  ,SPS-LC  ,SPS-N  ,SPS-P  ,SPS-W

钛合金螺丝


SNST

磷青铜螺丝


     

SNSP


非磁性螺丝的更详细信息请看这里▶

希望采取螺丝防松、防污染对策

备有无磁性材质内六角圆柱头螺栓。
内六角形状与切槽和十字孔相比不易滑脱,因此可能有助于防止污染的发生。
64钛的强度也很高,因此可以用更大的扭矩连接,作为防松对策也有效。
64钛·磷青铜内六角圆柱头螺栓备有M2~的产品。

照片 SNSTG SNSP
产品名称 高强度钛合金内
六角圆柱头螺栓

磷青铜内
六角圆柱头螺栓

型号 SNSTG
SNSP
材质 64钛合金 C5191(磷青铜)
螺纹直径 M2~M10 M2~M8

 

精密螺丝的详情请看这里▶

电气检查装置

检查评价工序

希望提高装置精度

实现伺服马达的高增益化,缩短整定时间。

驱动零件的要求特性:支持高增益


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高减振能力橡胶型联轴器

XGT2


通过提高装置刚性,可提高检查速度。

驱动零件的要求特性:高刚性


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线性导轨用夹紧机构

MK


希望使装置小型化

备有S0.6~、M1~等M2.6以下的小径螺丝。

特殊螺丝的要求特性:省空间


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精密螺丝

精密螺丝


 

课题、事例 提高生产效率、操作性 抑制振动、高精度 小型、省空间、轻量化 高强度、高刚性 耐热性、耐腐蚀性 半导体生产设备 实用案例集 联轴器 特殊螺丝 直线运动辅助配件