公布日期：2020年05月10日 更新日期：2024年10月07日
解决半导体生产设备的课题（预工序）
.jpg)
晶片洗净装置
洗净工序
想要防止零件腐蚀
在接触药品的装置内，必须选择适应该环境的耐药品性优异的螺丝。
特殊螺丝的要求特性：耐药品性
|
耐药品性 |
耐热性 |
非磁性 |
推荐产品 |
|
|---|---|---|---|---|
|
树脂螺丝 |
○ |
|||
|
SUS316L螺丝 |
○ |
○ |
○ |
|
|
哈氏合金＊1螺丝 |
○ |
○ |
||
|
陶瓷螺丝 |
○ |
○ |
||
|
Vespel＊2螺丝 |
○ |
○ |
||
|
头部PFA涂层螺丝 |
○ |
＊1：哈氏合金是美国哈氏合金国际公司的注册商标。
＊2：VESPEL 是美国杜邦公司的注册商标。
氧化扩散装置
热处理、氧化扩散工序
希望零件能耐高温、耐药品
在高温及使用各种气体的环境下，应选择耐热性、耐药品性优异的螺丝。
特殊螺丝的要求特性：耐热性 耐药品性
|
耐热性 |
耐药品性 |
推荐产品 |
|
|---|---|---|---|
|
镍铬合金＊1螺丝 |
○ |
○ |
|
|
哈氏合金＊2螺丝 |
○ |
○ |
|
MAT21＊3 |
○ |
＊1：镍铬合金是SMC 国际超合金集团公司的注册商标。
＊2：哈氏合金是美国哈氏合金国际公司的注册商标。
＊3：MAT 及MAT21 是Proterial 公司的注册商标。
涂覆、显影设备
成膜工序
希望提高生产能力
在晶片上生成光刻胶膜时为实现高速旋转，应使用高刚性联轴器。
联轴器要求特性：高刚性
|
推荐产品 |
|
|---|---|
|
膜片型联轴器 |
想要防止零件腐蚀
在接触药品的装置内，必须选择适应该环境的耐药品性优异的螺丝。
特殊螺丝的要求特性：耐药品性
|
耐热性 |
耐药品性 |
推荐产品 |
|
|---|---|---|---|
|
镍铬合金＊1螺丝 |
○ |
○ |
＊1：镍铬合金是SMC 国际超合金集团公司的注册商标。
半导体曝光装置
光刻工艺
希望提高装置精度
即使是连接部的小螺丝，也可通过抑制反射影响，提高曝光精度。
特殊螺丝的要求特性：防反射
|
防反射 |
耐药品性 |
防粘连・防烧结 |
推荐产品 |
|
|---|---|---|---|---|
|
低温镀黑铬处理 |
○ |
○ |
○ |
|
|
不锈钢黑色螺丝 |
○ |
应使用提高装置刚性的零件，提高装置的响应性。
驱动零件的要求特性：高刚性
|
推荐产品 |
|
|---|---|
|
线性导轨用夹紧机构 |
蚀刻装置
蚀刻工艺
希望零件能耐高温、耐药品
在高温及使用各种气体、溶液的环境下，应选择耐热性、耐药品性优异的螺丝。
特殊螺丝的要求特性：耐热性 耐药品性
|
耐热性 |
耐药品性 |
真空 |
非磁性 |
高强度 |
重量轻 |
防粘连・防烧结 |
推荐产品 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
陶瓷螺丝 |
○ |
○ |
||||||
|
盖帽、陶瓷螺丝 |
|
○ |
○ |
|||||
|
哈氏合金＊1螺丝 |
○ |
○ |
||||||
|
SUS316L螺丝 |
○ |
○ |
○ |
|||||
|
钛合金螺丝 |
|
○ |
○ |
○ |
○ |
|||
|
表面硬化处理螺丝 |
○ |
○ |
＊1：哈氏合金是美国哈氏合金国际公司的注册商标。
希望防止马达破损
要防止从真空可变电容通电，必须使用绝缘性优异的零件。
联轴器要求特性：绝缘性
|
推荐产品 |
|
|---|---|
|
真空可变电容器用联轴器 |
离子注入装置
离子敲入工序
希望提高真空度
排出螺纹孔中聚集的空气，可以更进一步提高真空度。
特殊螺丝的要求特性：真空
|
真空 |
推荐产品 |
|
|---|---|---|
|
通孔型螺丝 |
○ |
想要高温下不会粘连的螺丝
备有在1000℃以上的环境下可防止因热循环而产生粘连的螺丝。
特殊螺丝的要求特性：耐热性
|
耐热性 |
防粘连・防烧结 |
推荐产品 |
|
|---|---|---|---|
|
表面硬化处理螺丝 |
○ |
○ |
希望提高装置精度
连接零件也使用非磁性零件，防止离子因零件磁性而发生弯曲。
特殊螺丝的要求特性：非磁性
非磁性 |
耐药品性 |
高强度 |
重量轻 |
推荐产品 |
|
|---|---|---|---|---|---|
|
磷青铜螺丝 |
○ |
|
|
||
钛合金螺丝 |
○ |
○ |
○ |
○ |
成膜装置、阴极溅镀装置
成膜工序
希望防止马达破损
要防止从真空可变电容通电，必须使用绝缘性优异的零件。
联轴器要求特性：绝缘性
|
推荐产品 |
|
|---|---|
|
真空可变电容器用联轴器 |
希望零件能耐高温、耐药品
在高温及使用各种气体的环境下，应选择耐热性、耐药品性优异的螺丝。
特殊螺丝的要求特性：耐热性 耐药品性
|
耐热性 |
耐药品性 |
非磁性 |
高强度 |
重量轻 |
推荐产品 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
|
陶瓷螺丝 |
○ |
○ |
||||
|
SUS316L螺丝 |
○ |
○ |
○ |
|||
|
钼螺丝 |
○ |
|||||
|
哈氏合金＊1螺丝 |
○ |
○ |
||||
|
镍螺丝 |
○ |
○ |
||||
|
镍铬合金＊2螺丝 |
○ |
○ |
||||
|
钛合金螺丝 |
|
○ |
○ |
○ |
○ |
＊1：哈氏合金是美国哈氏合金国际公司的注册商标。
＊2：镍铬合金是SMC 国际超合金集团公司的注册商标。
希望提高真空度
排出螺纹孔中聚集的空气，可以更进一步提高真空度。
特殊螺丝的要求特性：真空
|
真空 |
推荐产品 |
|
|---|---|---|
|
通孔型螺丝 |
○ |
物理检查装置
检查评价工序
希望提高真空度
排出螺纹孔中聚集的空气，可以更进一步提高真空度。
特殊螺丝的要求特性：真空
|
真空 |
推荐产品 |
|
|---|---|---|
|
通孔型螺丝 |
○ |
希望提高检查精度
特殊螺丝的要求特性：非磁性
|
非磁性 |
耐热性 |
耐药品性 |
高强度 |
重量轻 |
推荐产品 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
|
树脂螺丝：PPS |
○ |
○ |
○ |
|||
|
钛合金螺丝 |
○ |
|
○ |
○ |
○ |
|
|
磷青铜螺丝 |
○ |
希望采取螺丝防松、防污染对策
备有无磁性材质内六角圆柱头螺栓。
内六角形状与切槽和十字孔相比不易滑脱，因此可能有助于防止污染的发生。
64钛的强度也很高，因此可以用更大的扭矩连接，作为防松对策也有效。
64钛·磷青铜内六角圆柱头螺栓备有M2～的产品。
| 照片 |  |
 |
||
|---|---|---|---|---|
| 产品名称 | 高强度钛合金内 六角圆柱头螺栓 |
磷青铜内 六角圆柱头螺栓 |
||
| 型号 | SNSTG |
SNSP |
||
| 材质 | 64钛合金 | C5191(磷青铜) | ||
| 螺纹直径 | M2～M10 | M2～M8 | ||
电气检查装置
检查评价工序
希望提高装置精度
实现伺服马达的高增益化，缩短整定时间。
驱动零件的要求特性：支持高增益
|
推荐产品 |
|
|---|---|
|
高减振能力橡胶型联轴器 |
通过提高装置刚性，可提高检查速度。
驱动零件的要求特性：高刚性
|
推荐产品 |
|
|---|---|
|
线性导轨用夹紧机构 |
希望使装置小型化
备有S0.6～、M1～等M２.6以下的小径螺丝。
特殊螺丝的要求特性：省空间
|
推荐产品 |
|
|---|---|
|
精密螺丝 |
