公布日期：2022年10月26日 更新日期：2024年07月30日
第6讲 关于热循环
什么是热循环
在半导体生产设备内部，有些装置的温度高达500～1000度。
比如离子注入装置的离子源、曝光装置的光源等。
此外，成膜装置、蚀刻装置等在处理晶片时温度有时也会上升到200～400度。
在这些装置中，温度的反复变化就叫做热循环。
比如离子注入装置的离子源、曝光装置的光源等。
此外，成膜装置、蚀刻装置等在处理晶片时温度有时也会上升到200～400度。
在这些装置中，温度的反复变化就叫做热循环。
NBK备有可用于高温环境和热循环的螺丝。
＜高温环境＞备有可在高温环境下使用的螺丝。
钨的熔点为3683℃，纯钼的熔点为2623℃，均属于高熔点材料。
其他材质请垂询。
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| 材质 | 钨 | 钽 | 于镍铬合金 | 纯钼 | 碳化硅 | Al2O3（氧化铝99.5％） | VESPEL SP-1 |
| 产品名称 | 带切口圆柱头小螺钉（钨） | 内六角螺栓（钽） | 内六角圆柱头螺栓（相当于镍铬合金） | 钼制内六角圆柱头螺栓 | 切口盘头小螺钉（碳化硅） | 陶瓷内六角圆柱头螺栓 | 树脂螺丝（VESPEL SP-1/内六角圆柱头螺栓） |
| 代表型号 | SNCW | SNSTA | SNSI | SNSM | SICX-SX | SCX-C | SPD-C |
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＜高温+真空环境＞
对耐热材料实施了真空装置用排气孔加工。
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| 材质 | 于镍铬合金 | 纯钼 |
| 产品名称 | 内六角圆柱头螺栓（相当于镍铬合金/通孔型） | 钼制内六角圆柱头螺栓（通孔型） |
| 代表型号 | SVSI | SVSM |
＜防止磨损＞
备有在热循环环境下不易发生粘连、烧结的螺丝。
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| 材质 | SUS316L | SUS316L | SUSXM7 (相当于SUS304) | SUSXM7 (相当于SUS304) | SUSXM7 (相当于SUS304) | SUSXM7 (相当于SUS304) | SUSXM7 (相当于SUS304) |
| 产品名称 | 内六角螺栓（SUS316L/表面硬化处理) | 内六角螺栓（通孔型/表面硬化处理） | 内六角圆柱头螺栓（二硫化钼涂层） | 内六角圆柱头螺栓（低温镀黑铬处理） | 内六角圆柱头螺栓（PTFE涂层） | 内六角圆柱头螺栓（金涂层） | 内六角圆柱头螺栓（氟涂层） |
| 代表型号 | SNSL-PN | SVSL-PN | SNSS-MO | SNSS-RY | SNSS-TF | SNSS-AUS | SNSS-FC |
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＜防止松弛＞
备有垫圈装入型螺丝。通过弹簧垫圈吸收热膨胀，防止松弛。
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| 材质 | SUSXM7 相当于SUS304) | SUS316L | SUS316L | SUSXM7 (相当于SUS304) | SUSXM7 (相当于SUS304) |
| 产品名称 | 带垫圈内六角圆柱头螺栓（通孔型） | 垫圈装入型高强度不锈钢内六角圆柱头螺栓（通孔型） | 垫圈装入型高强度不锈钢内六角圆柱头螺栓 | 带垫圈内六角圆柱头螺栓（I=3） | 带垫圈十字槽盘头小螺钉（I=3） |
| 代表型号 | SVSQS | SVSQLG | SNSQLG | SNSQS | SNPI3S |
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| 材质 | TW340（2类钛） | 相当于SUS304 |
相当于SUS304 |
| 产品名称 | 钛合金带垫圈内六角圆柱头螺栓（I=3） | 带垫圈六角螺栓(P=2) | 带垫圈六角螺栓(P=3) |
| 代表型号 | SNSI3T | SNHP2S | SNHP3S |
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