公布日期:2022年10月26日

第6讲 关于热循环

什么是热循环

在半导体生产设备内部,有些装置的温度高达500~1000度。
比如离子注入装置的离子源、曝光装置的光源等。
此外,成膜装置、蚀刻装置等在处理晶片时温度有时也会上升到200~400度。

在这些装置中,温度的反复变化就叫做热循环。

热循环示意图

热循环示意图

NBK备有可用于高温环境和热循环的螺丝。

<高温环境>
备有可在高温环境下使用的螺丝。
钨的熔点为3683℃,纯钼的熔点为2623℃,均属于高熔点材料。
其他材质请垂询。
  SNCW_index  SNSI_ind SNSM_ind SICX-SX_index SCX-C_ind SPD-C_ind
材质 于镍铬合金 纯钼 碳化硅 Al2O3(氧化铝99.5%) VESPEL SP-1
产品名称 带切口圆柱头小螺钉(钨) 内六角螺栓(钽) 内六角圆柱头螺栓(相当于镍铬合金) 钼制内六角圆柱头螺栓 切口盘头小螺钉(碳化硅) 陶瓷内六角圆柱头螺栓 树脂螺丝(VESPEL SP-1/内六角圆柱头螺栓)
代表型号 SNCW SNSTA SNSI SNSM SICX-SX SCX-C SPD-C
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<高温+真空环境>
对耐热材料实施了真空装置用排气孔加工。
  SVSI_index SVSM_index
材质 于镍铬合金 纯钼
产品名称 内六角圆柱头螺栓(相当于镍铬合金/通孔型) 钼制内六角圆柱头螺栓(通孔型)
代表型号 SVSI SVSM

<防止磨损>
备有在热循环环境下不易发生粘连、烧结的螺丝。
  SNSL-PN_ind SVSL-PN_index SNSS-MO_ind SNSS-RY_ind SNSS-TF_ind SNSS-AUS_ind SNSS-FC_ind
材质 SUS316L SUS316L SUSXM7 (SUS304相当) SUSXM7 (SUS304相当) SUSXM7 (SUS304相当) SUSXM7 (SUS304相当) SUSXM7 (SUS304相当)
产品名称 内六角螺栓(SUS316L/表面硬化处理) 内六角螺栓(通孔型/表面硬化处理) 内六角圆柱头螺栓(二硫化钼涂层) 内六角圆柱头螺栓(低温镀黑铬处理) 内六角圆柱头螺栓(PTFE涂层) 内六角圆柱头螺栓(金涂层) 内六角圆柱头螺栓(氟涂层)
代表型号 SNSL-PN SVSL-PN SNSS-MO SNSS-RY SNSS-TF SNSS-AUS SNSS-FC
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<防止松弛>
备有垫圈装入型螺丝。通过弹簧垫圈吸收热膨胀,防止松弛。
  SVSQS_ind  SVSQLG_index SNSQLG_index
材质 SUSXM7 (SUS304相当) SUS316L SUS316L
产品名称 带垫圈内六角圆柱头螺栓(通孔型) 垫圈装入型高强度不锈钢内六角圆柱头螺栓(通孔型) 垫圈装入型高强度不锈钢内六角圆柱头螺栓
代表型号 SVSQS SVSQLG SNSQLG
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