公布日期：2022年09月12日
第5讲 解决设备内部的课题
半导体生产设备 内部 —整体—
半导体生产设备 内部 —真空室—
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①紧固无法手持的狭窄部位的螺丝
②防止垫圈脱落
③可保持芯片的螺丝
④高温环境下也能保持高强度的螺丝
⑤防止不锈钢螺丝的粘连和烧结
⑥保护螺丝不被药品腐蚀
⑦加强螺栓拆装频度高的部位
⑧提高装置的真空度
各种半导体生产工序的课题解决案例
下面介绍各种半导体生产工序的课题解决案例。预工序请点击这里
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