公布日期：2022年06月17日 更新日期：2024年10月07日
第3讲 关于工艺气体、芯片清洗液
何谓工艺气体
在半导体制造的成膜工序、蚀刻工序等多道工序中，均使用被统称为工艺气体的惰性气体、特殊气体等。
根据气体种类，SUS304等不锈钢材料也可能会被腐蚀。
＜工艺气体示例＞
根据气体种类，SUS304等不锈钢材料也可能会被腐蚀。
＜工艺气体示例＞
| 甲硅烷 | 四氯硅烷 | 四氟化硅 | 氟利昂-116 | 五氟化磷 |
| 三氢化砷 | 乙矽烷 | 氟利昂-218 | 氟利昂-32 | 六氟化钨 |
| 磷化氢 | 三氟化硼 | 溴化氢 | 一氧化二氮 | 氟利昂-22 |
| 乙硼烷 | 三氯化硼 | 氯 | 三氯硅烷 | 氟利昂-123 |
| 锗烷 | 氯化氢 | 三氟化氯 | 四氯化钛 | |
| 二氯硅烷 | 氨 | 氟利昂-14 | 氟化氢 | |
| 硒化氢 | 三氟化氮 | 氟利昂-23 | 三氟化磷 |
何谓芯片清洗液
为清除异物及微量杂质，有使用特殊清洗液清洗芯片的工序。
芯片清洗液中使用了SPM（硫酸过氧化氢水溶液）、FPM（氟酸过氧化氢水溶液）等溶解不锈钢等金属的物质。
＜清洗液示例＞
SC-1（氨过氧化氢水溶液）
SC-2（盐酸过氧化氢水溶液）
SPM （硫酸过氧化氢水溶液）
FPM （氟酸过氧化氢水溶液）
BHF （缓冲氟酸溶液）
芯片清洗液中使用了SPM（硫酸过氧化氢水溶液）、FPM（氟酸过氧化氢水溶液）等溶解不锈钢等金属的物质。
＜清洗液示例＞
SC-1（氨过氧化氢水溶液）
SC-2（盐酸过氧化氢水溶液）
SPM （硫酸过氧化氢水溶液）
FPM （氟酸过氧化氢水溶液）
BHF （缓冲氟酸溶液）
NBK备有耐腐蚀性优异的耐药性螺丝。
在接触工艺气体和芯片清洗液的环境中也可以放心使用。耐药性螺丝的全部产品系列请看这里
※耐药品性会根据使用条件而变化。请务必事先在与实际情况相同的使用条件下进行试验。
耐药性螺丝
金属系列 |
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| 材质 | 钽 | MAT21＊1 | 哈氏合金＊2 C-22 | 哈氏合金＊2C-276 | 镍铬合金＊3 | 纯镍 |
| 代表产品名称 | 内六角螺栓 (钽) |
内六角圆柱头螺栓 (MAT21＊1) |
内六角圆柱头螺栓 (相当于哈氏合金＊2 C-22) |
内六角圆柱头螺栓 (相当于哈氏合金＊2 C-276) |
内六角圆柱头螺栓 (相当于镍铬合金＊3) |
镍制 内六角圆柱头螺栓 |
| 代表型号 | SNSTA | SNSMT | SNSH-C22 | SNSH-C276 | SNSI | SNSN |
| 产品系列 请看这里 |
产品系列请看这里 | |||||
＊2：哈氏合金是美国哈氏合金国际公司的注册商标。
＊3：镍铬合金是SMC 国际超合金集团公司的注册商标。
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| 材质 | SUS316L | SUS310S | 钛合金 |
| 代表产品名称 | 内六角圆柱头螺栓 （SUS316L） |
内六角圆柱头螺栓 （SUS310S） |
高强度钛合金 内六角圆柱头螺栓 |
| 代表型号 | SNSL | SNSJ | SNSTG |
| 产品系列请看这里 | 产品系列 请看这里 |
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陶瓷、树脂系列
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| 材质 | 碳化硅（SiC） | Al2O3 (氧化铝99.5％) |
PEEK GF30(含有玻璃纤维的聚醚醚酮) | PEEK(聚醚醚酮) | PTFE(聚四氟乙烯) | 全氟烷氧基 |
| 代表产品名称 | 切口盘头小螺钉 (碳化硅) |
陶瓷 内六角圆柱头螺栓 |
树脂螺丝 (PEEK GF30 / 内六角圆柱头螺栓) |
树脂螺丝 (PEEK/十字槽盘头小螺钉) |
树脂螺丝 (PTFE / 六角螺栓) |
树脂螺丝 (PFA / 六角螺栓) |
| 代表型号 | SICX-SX | SCX-C | SPEG-C | SPE-P | SPT-H | SPFA-H |
| 产品系列请看这里 | 产品系列请看这里 | |||||
特殊形状
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| 材质 | Al2O3 (氧化铝99.5%) | PTFE(聚四氟乙烯) | SUSXM7 (相当于SUS304) | SUSXM7 (相当于SUS304) 涂层（仅头部） |
| 代表产品名称 | 盖帽 | 盖帽 | 盖帽用螺栓 | 六角螺栓 (头部PFA涂层) |
| 代表型号 | SCAP-CE | SCAP-PT | SNCPS | SNHS-HTF |
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产品介绍
术语说明
耐热性、耐腐蚀性
无尘、真空、无磁性
半导体生产设备
半导体行业与NBK
特殊螺丝
