更新日期：2025年05月07日
第2讲 关于真空环境
很多半导体生产设备都使用了真空技术。
真空并不是所有的装置都需要，主要是使用等离子体及电子光束的装置需要。
我们将利用真空泵形成真空环境的盒子、房间称为真空室。
真空并不是所有的装置都需要，主要是使用等离子体及电子光束的装置需要。
我们将利用真空泵形成真空环境的盒子、房间称为真空室。
为什么半导体生产设备需要真空？
・为了减少杂质，提高反应的质量
在杂质较少的真空中通过成膜及蚀刻等加工，可进行高质量处理。
・为了降低沸点
通过降低沸点，可以在较低的温度下处理芯片。
抑制温度变化，芯片不易变形。
并且，制造装置侧也需要采用可承受高温的材质、规格。
・为了产生等离子体
如果是低压，施加的电力就会变低。
并且还可以用各种气体种类产生等离子体。
在杂质较少的真空中通过成膜及蚀刻等加工，可进行高质量处理。
・为了降低沸点
通过降低沸点，可以在较低的温度下处理芯片。
抑制温度变化，芯片不易变形。
并且，制造装置侧也需要采用可承受高温的材质、规格。
・为了产生等离子体
如果是低压，施加的电力就会变低。
并且还可以用各种气体种类产生等离子体。
真空的分类
尽管统称为真空，但也分为若干类。
・低真空 100 kPa～100 Pa
・中真空 100 Pa～0.1 Pa
・高真空 0.1 Pa～10-⁵ Pa
・超高真空 10-⁵Pa以下
・低真空 100 kPa～100 Pa
・中真空 100 Pa～0.1 Pa
・高真空 0.1 Pa～10-⁵ Pa
・超高真空 10-⁵Pa以下
NBK备有适于在真空环境下使用的产品
真空装置用螺丝
备有为排除螺孔底部及钻孔中残留气体的抽真空提供支持的螺丝、垫圈。
可抑制使用时的脆性破坏和在真空环境下发生漏气。
＜丰富的产品系列＞ 请由此查看真空装置用螺丝的全部产品系列
・低排气
通过特殊化学研磨处理，改善表面粗糙度。漏气量极小。
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| 材质 | SUSXM7 (相当于SUS304) |
钛合金 | |||||
| 产品名称 | 内六角圆柱头螺栓 （通孔型） |
纯钛内六角圆柱头螺栓 （通孔型） |
内六角极短头螺栓 （钛合金 / 通孔型） |
钛合金十字槽埋头小螺丝 （通孔型） |
内六角极短头小头螺栓（钛合金 / 通孔型） | 钛合金带垫圈内六角圆柱头螺栓 |
钛合金带垫圈内六角圆柱头螺栓 |
| 代表型号 | SVSS-PC | SVST | SVSHT | SVFT | SVSHT-SD | SNSI1T | SNSI3T |
| 产品系列请看这里 | |||||||
・各种材质
备有耐腐蚀性高的镍铬合金（相当）或哈氏合金（相当）、非磁性钛合金等广泛产品系列。
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| 材质 | SUS304･SUSXM7 （相当于SUS304) |
SUS316L | ||||
| 产品名称 | 内六角圆柱头螺栓 （通孔型） |
六角螺栓 （通孔型） |
内六角止动螺丝 (通孔型) |
内六角圆柱头螺栓 （SUS316L / 通孔型） |
垫圈装入型高强度不锈钢 内六角圆柱头螺栓 （通孔型） |
内六角极短头螺栓 （SUS316L / 通孔型） |
| 代表型号 | SVSS | SVHS | SVTS | SVSL | SVSQLG | SVSHL |
| 产品系列请看这里 | 产品系列请看这里 | |||||
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| 材质 | 相当于镍铬合金 | 纯钼 | 相当于哈氏合金 | 铝合金 | 纯钛 | |
| 产品名称 | 内六角圆柱头螺栓 （相当于镍铬合金 / 通孔型） |
钼制内六角圆柱头螺栓 （通孔型） |
内六角圆柱头螺栓 （相当于哈氏合金 C-22 / 通孔型） |
内六角圆柱头螺栓 （相当于哈氏合金 C-276 / 通孔型） |
铝合金内六角圆柱头螺栓 （通孔型） |
纯钛内六角圆柱头螺栓 （通孔型） |
| 代表型号 | SVSI | SVSM | SVSH-C22 | SVSH-C276 | SVSA | SVST |
| 产品系列 请看这里 |
产品系列 请看这里 |
产品系列请看这里 |
产品系列 请看这里 |
产品系列 请看这里 |
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・各种形状
备有短头螺栓及垫圈装入型、夹紧螺丝等广泛产品系列。
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| 形状示例 | 短头螺栓 | 极短头螺栓 | 六角支柱 | 夹紧螺丝 | 带垫圈 | 垫圈 |
| 产品名称 | 内六角短头螺栓 （通孔型） |
内六角极短头螺栓 （通孔型） |
六角支柱 （通孔型） |
夹紧螺丝 （通孔型） |
垫圈装入型高强度不锈钢内六角圆柱头螺栓 （通孔型） |
垫圈（通槽型） |
| 代表型号 | SVLS |
SVSHS | SHVAS | SCSS-VR | SVSQLG | SWAS-VF |
| 产品系列 请看这里 |
产品系列 请看这里 |
产品系列 请看这里 |
产品系列 请看这里 |
产品系列 请看这里 |
产品系列 请看这里 |
・粘连、烧结对策
备有适于粘连、烧结对策的产品。
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| 材质 | SUS316L | SUSXM7(相当于SUS304) |
SUSXM7(相当于SUS304) |
| 产品名称 | 内六角圆柱头螺栓 （ 通孔型/ 表面硬化处理） |
内六角圆柱头螺栓 （通孔型/ 二硫化钼喷丸） | 内六角圆柱头螺栓 （通孔型/ 镀银） |
| 代表型号 | SVSL-PN | SVSS-MOS | SVSS-AG |
| 产品系列请看这里 | |||
请由此查看真空装置用螺丝的全部产品系列
低排气产品
除真空装置用螺丝之外，还备有低排气的螺丝、联轴器。・螺丝
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| 材质 | SPD-C | SPDC-H | SPE-C |
| 产品名称 | VESPEL SP-1 | VESPEL SCP-5000 | PEEK |
| 产品系列请看这里 |
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・联轴器
我们备有可用于无尘室、真空中、高温（80℃以上）等特殊环境的联轴器。
| 类型 | 一体狭缝切割型 | 十字滑块型 | 膜片型 | ||||
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| 照片 |  |
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| 型号 | XSTS | XWSS | MSXP | MOHS | MOP | XBWS＊ | XBSS＊ |
| 材质 | SUS316L | SUS316L | PEEK | SUS303 VESPEL＊＊ SUSXM7 |
A2017 PEEK SUSXM7 |
SUS303 SUSXM7 |
SUS303 SUSXM7 |
| 洗净方法 | 超声波洗净 | 超声波洗净 | 超声波洗净 | 超声波洗净 | 超声波洗净 | 超声波洗净＊ | 超声波洗净＊ |
| 低尘 | ◎ | ◎ | ◎ | △ | △ | ○ | ○ |
| 适用于真空环境 | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ |
| 低排气 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 耐热 | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ |
| 耐药性 | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 零背隙 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ||
| 高扭矩 | ○ | ○ | ○ | ○ | |||
| 高扭转刚性 | ◎ | ◎ | |||||
| 容许误差调整 | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ | |
◎:特优 ○:优 △:可能产生磨屑。
＊XBWS XBSS 为未洗净品。可根据客户要求进行“无尘洗净、无尘包装”。
＊＊VESPEL是美国杜邦公司的注册商标。
无尘洗净、无尘包装服务
可提供无尘洗净和无尘包装，可以直接在真空室及无尘室中使用。各种半导体生产工序的课题解决案例
下面介绍各种半导体生产工序的课题解决案例。预工序请点击这里
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产品介绍
无尘、真空、无磁性
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